ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು:
| ಐಟಂ | ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ |
| ಪರೀಕ್ಷಾ ಶ್ರೇಣಿ | 0.01~6500(ಸಿಸಿ/㎡.24ಗಂ) |
| ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಅನುಪಾತ | 0.001 |
| ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆಯ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಸ್ತೀರ್ಣ | 50 c㎡ (ಇತರವು ಕಸ್ಟಮ್-ನಿರ್ಮಿತವಾಗಿರಬೇಕು) |
| ಮೈಕ್ರೋನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ವ್ಯಾಸದ ಅಳತೆ | 108*108ಮಿಮೀ |
| ಮಾದರಿ ದಪ್ಪ | <3 ಮಿಮೀ (ಪರಿಕರಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸಲು ದಪ್ಪವಾಗಿರುತ್ತದೆ) |
| ಮಾದರಿ ಪ್ರಮಾಣ | 1 |
| ಪರೀಕ್ಷಾ ಮೋಡ್ | ಸ್ವತಂತ್ರ ಸೆನ್ಸರ್ |
| ತಾಪಮಾನದ ಶ್ರೇಣಿ | 15℃ ~ 55℃ (ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಸಾಧನವನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ಖರೀದಿಸಲಾಗಿದೆ) |
| ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ನಿಖರತೆ | ±0.1℃ |
| ವಾಹಕ ಅನಿಲ | 99.999% ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಾರಜನಕ (ಗಾಳಿಯ ಮೂಲ ಬಳಕೆದಾರ) |
| ವಾಹಕ ಅನಿಲ ಹರಿವು | 0~100 ಮಿಲಿ/ನಿಮಿಷ |
| ವಾಯು ಮೂಲದ ಒತ್ತಡ | ≥0.2MPa |
| ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಗಾತ್ರ | 1/8 ಇಂಚಿನ ಲೋಹದ ಪೈಪ್ |
| ಆಯಾಮಗಳು | 740ಮಿಮೀ (ಎಲ್)×415ಮಿಮೀ (ಪ)×430ಮಿಮೀ (ಉದ್ದ) |
| ವೋಲ್ಟೇಜ್ | ಎಸಿ 220 ವಿ 50 ಹೆಚ್ z ್ |
| ನಿವ್ವಳ ತೂಕ | 50 ಕೆ.ಜಿ. |